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Hochempfindliche Beschleunigungssensoren zur Überwachung von Verkehrs- und Eisenbahnschwingungen für Halbleiterfertigungsanlagen
Verstärkte piezoelektrische Beschleunigungssensoren, besser bekannt als IEPE (oder unter dem Markennamen ICP® von PCB Piezotronics, Inc.), sind in der Industrie sowie in zivilen und militärischen Anwendungen weit verbreitet.
In diesem White Paper konzentrieren wir uns auf eine besondere Art von Beschleunigungs- und Drucksensoren mit hoher Empfindlichkeit, die zur präzisen Messung sehr kleiner Vibrations- oder Druckpegel eingesetzt werden.
Diese Sensoren finden vielfältige Anwendung in der Vibrationskontrolle von Maschinen, die für die Halbleiter- und Mikrochip-Produktion eingesetzt werden, sowie in vielen zivilen Anwendungen.
Das in diesem Beitrag beschriebene Messsystem war für die Schwingungskontrolle vorgesehen, um eine gute Qualität der Mikrochips zu gewährleisten, ermöglichte aber auch die Messung eines Erdbebens, das sich in einem anderen Land weit entfernt von Taiwan ereignete, wo die Überwachung stattfand. Die beteiligten Techniker wurden sogar in Echtzeit über das Erdbeben informiert, noch bevor die internationalen Medien darüber berichteten.
Inhalt:
- Technologie der piezoelektrischen und IEPE-Beschleunigungssensoren
- Vorstellung der hochempfindlichen Beschleunigungssensoren
- gängigste Anwendungen im Bereich der Schwingungsüberwachung für Infrastrukturen
- Fallstudie
- Erklärung von Vibrationsproblemen in Maschinen zur Mikrochip-Produktion
- Fallstudie zur Überwachung von Eisenbahnvibrationen in Taiwan
- frühzeitige Erdbebenvorhersage als Echtzeit-Folge der Vibrationsüberwachung
Das White Paper auf Englisch finden Sie hier